光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效

SuperViewW1光学轮廓仪检测仪是中图仪器推出的一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，用于对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

SuperViewW1光学表面轮廓仪中图仪器可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。

SuperViewW系列高精密光学轮廓测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。用于测量表面形貌或测量表面轮廓外，具有测量晶圆翘曲度的功能，非常适合晶圆，太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。

SuperViewW1半导体薄膜光学轮廓无损检测仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。

SJ5760-PR高精度轮廓尺寸测量仪是全自动检测仪器，所以在测量时只需要检定人员简单操作即可完成对工件的测量。测量精度高，量程大，测量速度快，智能化应用与检定软件相结合，保护测针和测量系统，仪器操作灵活自如，可以大大提高测量工作效率。