中图仪器轮廓仪接触式测量仪采用超高精度衍射光学测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能伺服驱动电机、高性能计算机控制系统技术，实现对工件表面粗糙度和轮廓进行高精度测量和分析。测针会自动接触工件表面，并按设定的位置扫描；可高精度地测量精密加工零部件的粗糙度和轮廓形状，再选择所需评价参数即可进行评价。

中图仪器3d视觉轮廓仪测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。

中图仪器3d轮廓扫描仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。

中图仪器3d光学轮廓仪高精度测量仪在同等放大倍率下，测量精度和重复性都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

SuperVirewW1光学3d表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

中图SuperViewW1三维光学表面轮廓仪以白光干涉技术为原理，主要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量，通过利用接触式及非接触式双模式基于技术上的优势获得获得全面的表面特性。既可以用于科学研究，也可以用于工业产品的检测。