中图仪器SJ5730接触式3D轮廓仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器，该仪器具有12mm的粗糙度测量范围，分辨率达到1nm，适合测量大曲面上的表面粗糙度，同时具备轴承轮廓度评价功能，能够满足轴承行业的测量需求。

SuperViewW1光学三维轮廓仪采用白光干涉技术，结合具有抗噪性能的3D重建算法，具有测量精度高、功能全面、操作便捷、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精密器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。并且其特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

SJ5730高精度轮廓度测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨，移动精度高、稳定性好、寿命长；测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。

SuperViewW1轮廓度光学测量仪由照明光源系统，光学成像系统，垂直扫描系统以及数据处理系统构成。针对芯片封装测试流程的测量需求，SuperViewW1非接触式光学轮廓测量仪的X/Y方向标准行程为140*100mm，满足减薄后晶圆表面大范围多区域的粗糙度自动化检测、镭射槽深宽尺寸、镀膜台阶高等微纳米级别精度的测量。而SuperViewW1-Pro 型号增大了测量范围，可覆盖8英寸及以下晶圆，定

SJ5800中图接触式轮廓仪可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量，尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度检测，如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数、微观轮廓度参数的测量。同时仪器还可对各种精密零件轮廓度、波纹度进行测量，对形状参数进行分析。

SuperViewW1粗糙度轮廓光学测量仪采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证测量精度高。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。