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Product CategorySJ5730-100高精密轮廓测量仪是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的测量仪器。可广泛应用于精密机械加工、汽车、轴承、机床、模具、精密五金、光学加工等行业。该仪器可以对零件表面的轮廓度、波纹度、粗糙度实现一次扫描测量,尤其是大范围曲面、斜面进行粗糙度检测,如圆弧面和球面、异型曲面进行多种粗糙度参数、微观轮廓度参数的测量。同时仪器还可对各种精密零件轮廓度、波纹度进行测量,对形状参数进行分析。
SuperViewW1光学轮廓仪白光干涉仪能够以优于纳米级的分辨率,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
SuperViewW1-Pro三维轮廓形貌测量仪是以白光干涉技术为原理的一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。可以测到12mm,也可以测到更小的尺寸,XY载物台标准行程为200×200㎜,局部位移精度可达亚微米级别,Z向扫描电机可扫描10mm范围,纵向分辨率可达0.1nm级别,因此可测非常微小尺寸的器件。
中图仪器大量程轮廓测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。该仪器工作台采用高精度的横向气浮道轨和滚动垂直道轨,移动精度高、稳定性好、寿命长;测量效率高、操作简单、适用于车间检测站或计量室使用。
SuperViewW1三维光学轮廓仪除主要用于测量表面形貌或测量表面轮廓外,具有的测量晶圆翘曲度功能,非常适合晶圆,太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量,应变测量以及表面形貌测量。是目前三维形貌测量领域高精度的检测仪器之一。
3d光学干涉轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
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