激光干涉仪的工作原理讲解

　　它也是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，干扰能力强，精度高，测量结果可靠，在精度要求高的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

　　激光干涉仪的基本原理与单频激光干涉仪不同。激光器放在轴向磁场内，发出的激光为方向相反的右旋圆偏振光和左旋圆偏振光，其振幅相同，但频率不同，分别表示为f1和f2。经分光镜M1，一部分反射光经检偏器射入光电元件D1作为基准频率f基 (f基＝f1－f2)。另一部分通过分光镜M1的折射光到达分光镜M2的a处。频率为f２的光束*反射，经滤光器变为线偏振光f２，投射到固定棱镜M３并反射到分光镜M2的b处。频率为f1的光束折射经滤光器变为线偏振光f1，投射到可动棱镜M4后也反射到分光镜M2的b处，两者产生相干光束。若M4移动，则反射光的频率发生变化而产生“多卜勒效应，其频差为多卜勒频差Δf。

　　频率为f’＝f1±Δf的反射光与频率为f２的反射光在b处汇合后，经检偏器射入光电元件D２，得到频率为测量频率f测＝f２－(f1±Δf)的光电流，这路光电流与经光电元件D１后得到频率为f基的光电流同时经放大器进入计算机，经减法器和计数器，即可算出差值±Δf，并按下式计算出可动棱镜M4的移动速度v和移动距离l。即可算出差值±Δf，并按下式计算出可动棱镜M4的移动速度v和移动距离L。

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