国产激光干涉仪的光路调节方法

　　国产激光干涉仪是以光波为载体，测量精度高，测量速度快，测量范围大，其光波长可直接定义为米，并可追溯到标准。以其良好的性能、在很多场合，特别是在大长度与大位移的测量中得到广泛应用。广泛应用于数控机床等仪器的质量控制和校准，以及科研开发、设备制造等领域。
 

　　结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参数的高精度测量。在动态测量软件的配合下，可以实现线性位移、角度和直线度的动态测量和性能检测，以及位移、速度、加速度、振幅和频率的动态分析。在调节光路时，请遵循以下基本流程：
 

　　1、将国产激光干涉仪放置在可调底座(如有)上，通电点亮激光器，等待其预热；如预热结束，尾部的“READY”LED指示灯会显示绿色。锁定激光器位置。
 

　　2、将所有导光元件初步固定在导光元件可调底座上，并安装在设计位置；沿着光路顺序，逐个调节导光元件。遇到光路分叉时，请先调节反射光路，然后调节投射光路。调节时请注意以下两点：
 

　　a：出光口的光阑，选择大光斑(6mm或者9mm光斑)，依次调整导光元件的横向位置，使光束从导光元件通光孔的中心入射，保证光束不会出现消光现象；
 

　　b：选择小光斑(3mm光斑)，依次调节各个导光元件的位置。将一平面镜(前后面平行度较高)紧贴导光元件的反射光出口处，通过调整可调底座的俯仰度和倾斜度，使反射光沿原路返回至激光器出光处。然后锁紧导光元件的位置。
 

　　3、装调完所有的导光元件之后，再安装干涉仪。