激光干涉仪基于激光多普勒原理，采用激光外差干涉技术和光纤传输技术，通常由控制器、光纤、干涉仪、被测镜、上位机软件等部件组成，它可测量所有可转换为位移量的物理量，比如位移、振动、速度、加速度、形变等等。
其主要功能包括：
定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量等，通过配合使用球杆仪，还能够测量数控机床的回转量，从而实现定位、校准、控制和补偿。
随着智能制造技术的不断深入，检测成为了生产过程中越来越重要的一环，而位移测量是非常重要的一种检测。通常而言，设备的检测精度要达到加工精度的3倍以上，比方说要加工出3μm的精度，则检测精度至少要1μm以下，因此位移测量系统成为智能制造设备的关键部件之一。
原理及特点：
它可测量所有可转换为位移量的物理量，比如位移、振动、速度、加速度、形变等等。
1、采用交流放大器，更稳定，抗环境干扰力更强；
2、采用高倍电子细分，可达纳米级分辨率；
3、采用光纤传输，装调更便捷，更容易实现多轴同步测量；
4、最大测量速度可达5m/s；
5、具备网口、USB口及ABZ正交编码等输出。
目前常用的位移测量系统有光栅、容栅、磁栅、激光干涉仪等，其中以激光干涉仪的精度最高，是微纳位移测量的*。按照技术路线不同，激光干涉仪可分为单频激光干涉仪和激光干涉仪；按结构不同，也可分为传统激光干涉仪（空间光传输）和光纤激光干涉仪。
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