激光干涉仪工作原理

SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、zui高测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有*的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

激光干涉仪工作原理如下：

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束( 测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉( 见图1) 。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。